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      上海大學吳亮教授來訪寧波材料所
      作者:,日期:2018-10-15

        10月12日,應中國科學院寧波材料技術與工程研究所所屬新能源所副研究員郭煒博士的邀請,上海大學教授吳亮博士來訪寧波材料所進行學術交流,并作了題為“Novel approach to grow high quality and large size freestanding AlN single crystals by PVT method”的學術報告。

        在報告中,吳亮針對AlN自支撐單晶襯底的應用、發展以及生長方式作了深入淺出的講解。他指出,在高功率電子電力器件、深紫外LED以及紫外探測器領域,自支撐AlN單晶襯底都具有無可比擬的優勢。由于AlN單晶襯底生長溫度高(>2000℃),寄生反應嚴重,因此AlN單晶生長難度極大。考慮到氣相沉積(PVT)方法的特殊性,反應釜的構造、熱場設計等對于晶體生長的雜質含量、晶體極性和尺寸大小都有重要的影響。吳亮自主設計制造了W坩堝和一整套自動化長晶設備,目前已經能夠生長出1英寸低位錯密度(104cm-2)、高紫外透光率的AlN單晶襯底,相應指標在國際上處于領先地位,同時該技術也打破了美國Hexatech, Crystal IS等公司對于AlN單晶的技術壟斷和對國內的技術封鎖,吳亮創辦的企業為中國唯一一家能夠生長高質量AlN自支撐單晶的單位。目前,吳亮設計制造的第二代晶體生長系統預計年底可實現規模化量產,屆時將與寧波材料所合作,共同開發基于AlN單晶襯底的高效率紫外LED和紫外探測器器件。

              吳亮的報告十分精彩,大家在會后針對晶體生長技術、產業化前景等問題進行了深入熱烈的探討。會后,在葉繼春研究員和郭煒博士的陪同下,吳亮還參觀了新能源公共測試平臺和超凈間半導體加工平臺。

        吳亮教授簡介:

        吳亮教授是上海大學材料科學與工程學院“東方學者”特聘教授、博士生導師。吳亮分別于比利時天主教魯汶大學、清華大學及大連理工大學獲工學博士、工學碩士及本科學位。長期從事半導體、光伏/LED晶體材料模擬仿真技術、晶體生長設備及其生長工藝與缺陷的研究開發,是全球知名的晶體生長模擬仿真軟件FEMAG的核心開發人員之一、知名網格生成軟件poly2tri作者;Elsevier Journal of Crystal Growth客座編輯(guest editor);PV Japan-2011 大會全員特邀演講嘉賓(Plenary keynote speaker);SEMI全球協會Semi China光伏材料學術委員會成員,光伏材料分會主席;主要研究方向為晶體生長設備、熱場設計與工藝;磁場對晶體生長過程的影響及其耦合技術;晶體生長過程的微觀缺陷形成機理及其傳輸機制。有限元非結構化網格自動生成;晶體生長工藝過程的全局計算機模擬、仿真與工藝優化等。

      報告會現場  

        (新能源所 郭煒)

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